資料
J-GLOBAL ID：200909058406243791 JST資料番号 (フル)：N19970388C JST資料番号：N19970388
Walking Driveによる同時3軸ナノメータ制御超精密加工機の開発 平成7年度 No.06555039
JST資料番号：
JST資料番号
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N19970388
資料内容種別：
一般記事, 冊子体, その他
刊行頻度：
その他
発行国：
日本(JPN)
本文使用言語 (1件)：
日本語(JA)
出版団体名：
文部省
出版地：
東京
JST所蔵 (0件)
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