資料
J-GLOBAL ID：200909061240025198
JST資料番号 (フル)：K19970661H
JST資料番号：K19970661
Crystalline Defects and Contamination: Their Impact and Control in Device Manufacturing 2
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K19970661
ISBN (1件)：
1-56677-175-7
シリーズ・タイトル (1件)：
- Proceedings. Electrochemical Society 97-22
資料内容種別：会議録, 冊子体, その他
刊行頻度： その他
発行国：アメリカ合衆国(USA)
本文使用言語 (1件)：
英語(EN)
出版団体名：
Electrochemical Society
出版地：Pennington, N.J.
会議 (1件)：
- Symposium on Crystalline Defects and Contamination: Their Impact and Control in Devices, 2nd, Paris, 19970831 - 19970905
JST所蔵 (0件)：
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