資料
J-GLOBAL ID：200909066936815535
JST資料番号 (フル)：K19940175G
JST資料番号：K19940175
ULSI Science and Technology/1993
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K19940175
ISBN (1件)：
1-56677-063-7
シリーズ・タイトル (1件)：
- Proceedings. Electrochemical Society 93-13
資料内容種別：会議録, 冊子体, その他
刊行頻度： その他
発行国：アメリカ合衆国(USA)
本文使用言語 (1件)：
英語(EN)
出版団体名：
Electrochemical Society
出版地：Pennington, N.J.
会議 (1件)：
- International Symposium on Ultra Large Scale Integration Science and Technology, 4th, Honolulu, Hawaii, 19930517 - 19930518
JST所蔵 (0件)
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