資料
J-GLOBAL ID：200909068920732241
JST資料番号 (フル)：C0406BAJ
JST資料番号：C0406B
Microelectronic Engineering
JST資料番号：
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C0406B
ISSN (1件)：
0167-9317
CODEN (1件)：
MIENEF
資料内容種別：一般記事, メタデータのみ, 年18回
刊行頻度： 年18回
発行国：オランダ(NLD)
本文使用言語 (1件)：
英語(EN)
JST資料分類 (1件)：
電子工学 (NC)
出版団体名：
Elsevier
出版地：Amsterdam
会議 (59件)：
- International Workshop on Materials for Advanced Metallization, Grenoble, 20120311 - 20120314
- International Conference of Insulating Films on Semiconductors, 18th, Cracow, 20130625 - 20130628
- Nanoscale Imaging, Fabrication and Materials Modification Using Ion Beams Symposium, Suntec, 20110626 - 20110701
- SEMATECH Surface Preparation and Cleaning Conference, 13th, Austin, Tex., 20110321 - 20110323
- International Conference on Micro and Nano Engineering, Toulouse, 20120916 - 20120920
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