資料
J-GLOBAL ID：200909072308403953   JST資料番号 (フル)：E0974AAE   JST資料番号：E0974A

Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures

JST資料番号：
JST資料番号
JSTが収集資料ごとに付与しているID番号です
E0974A
ISSN (1件)： 1071-1023
CODEN (1件)： JVTBD9
資料内容種別：一般記事, メタデータ&冊子体, 隔月(年6回)
刊行頻度： 隔月(年6回)
発行国：アメリカ合衆国(USA)
本文使用言語 (1件)： 英語(EN)
JST資料分類 (3件)： 物質の構造、放射線物理 (BK) ,  物理学一般・基礎 (BA) ,  電子工学 (NC)
編集団体名 (1件)： American Vacuum Society
出版団体名： American Inst. of Physics
出版地：New York
会議 (39件)：
  • International Workshop on Insight in Semiconductor device Fabrication, Metrology, and Modeling, Napa, Calif., 20090426 - 20090429
  • Workshop on Dielectrics in Microelectronics, 15th, Berlin, 20080623 - 20080625
  • North American Conference on Molecular Beam Epitaxy, 24th, Durham, N.C., 20061008 - 20061011
  • International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology and Nanofabrication, 43rd, Marco Island, Fla., 19990601 - 19990604
  • International Conference on Advanced Materials and Processes for Microelectronics, 1st, San Jose, Calif., 19990315 - 19990318
もっと見る
前資料名 (1件)：
  • Journal of Vacuum Science & Technology
後継資料名 (1件)：
  • Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena
JST所蔵 (0件) ※：

※ 所蔵状況は最新でない場合があります。また事情によりご利用いただけない場合があります。
　詳細はこちらからお問い合わせください。


前のページに戻る

TOP

BOTTOM