資料
J-GLOBAL ID：200909076630024564
JST資料番号 (フル)：K19990354Y
JST資料番号：K19990354
Dielectric Materials Integration for Microelectronics
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K19990354
ISBN (1件)：
1-56677-197-8
シリーズ・タイトル (1件)：
- Proceedings. Electrochemical Society 98-3
資料内容種別：会議録, 冊子体, その他
刊行頻度： その他
発行国：アメリカ合衆国(USA)
本文使用言語 (1件)：
英語(EN)
編集団体名 (2件)：
Electrochemical Society. Dielectric Science and Technology Div.
, Electrochemical Society. Electronics Div.
出版団体名：
Electrochemical Society
出版地：Pennington, N.J.
会議 (2件)：
- International Symposium on Low and High Dielectric Constant Materials, 3rd, San Diego, Calif., 19980503 - 19980508
- International Symposium on Dielectric Materials for Advanced Electronic Packing, 1st
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