資料
J-GLOBAL ID：200909079808866326
JST資料番号 (フル)：K19930514G
JST資料番号：K19930514
Proceedings of the Symposia on Patterning Science and Technology 2 / Interconnection and Contact Metallization for ULSI, 1991
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K19930514
ISBN (1件)：
1-56677-007-6
シリーズ・タイトル (1件)：
- Proceedings. Electrochemical Society 92-6
資料内容種別：会議録, 冊子体, その他
刊行頻度： その他
発行国：アメリカ合衆国(USA)
本文使用言語 (1件)：
英語(EN)
出版団体名：
Electrochemical Society
出版地：Pennington, N.J.
会議 (2件)：
- International Symposium on Patterning Science and Technology, 2nd, Phoenix, Ariz., 19911013 - 19911017
- Interconnection and Contact Metallization for ULSI Symposium, Phoenix, Ariz., 19911013 - 19911017
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