資料
J-GLOBAL ID:200909082051200512
JST資料番号 (フル):N19960692D
JST資料番号:N19960692
シリコン単結晶および酸化膜のマイクロトライボロジー特性 平成7年度 No.06452165
JST資料番号:
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N19960692
資料内容種別:一般記事, 冊子体, その他
刊行頻度: その他
発行国:日本(JPN)
本文使用言語 (1件):
日本語(JA)
出版団体名:
文部省
出版地:東京
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