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J-GLOBAL ID:200909085265183541   JST資料番号 (フル):K19940621I   JST資料番号:K19940621

Gas-Phase and Surface Chemistry in Electronic Materials Processing

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K19940621
ISBN (1件): 1-55899-233-2
シリーズ・タイトル (1件):
  • Materials Research Society Symposia Proceedings 334
資料内容種別:会議録, 冊子体, その他
刊行頻度: その他
発行国:アメリカ合衆国(USA)
本文使用言語 (1件): 英語(EN)
編集団体名 (2件): U.S. Army Research Office ,  Office of Naval Research
出版団体名: Materials Research Society
出版地:Pittsburgh, Pa.
会議 (1件):
  • Symposium on Gas-Phase and Surface Chemistry in Electronic Materials Processing, Boston, Mass., 19931129 - 19931202
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