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J-GLOBAL ID:200909087945497829   JST資料番号 (フル):N20021275S   JST資料番号:N20021275

故障物理研究委員会研究成果報告書 平成13年度 最新VLSI要素技術(酸化膜と多層配線)の故障物理と信頼性から見たSi半導体技術の限界

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N20021275
資料内容種別:一般記事, 冊子体, その他
刊行頻度: その他
発行国:日本(JPN)
本文使用言語 (1件): 日本語(JA)
出版団体名: 日本電子部品信頼性センター
出版地:東京
会議主催団体名 (1件):
  • 日本小型自動車振興会
JST所蔵 (0件)

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