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J-GLOBAL ID:200909088057651786   JST資料番号 (フル):K19880680Y   JST資料番号:K19880680

Laser and Particle-Beam Chemical Processing for Microelectronics

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K19880680
ISBN (1件): 0-931837-69-3
シリーズ・タイトル (1件):
  • Materials Research Society Symposia Proceedings 101
資料内容種別:会議録, 冊子体, その他
刊行頻度: その他
発行国:アメリカ合衆国(USA)
本文使用言語 (1件): 英語(EN)
編集団体名 (1件): United States. Air Force. Office of Scientific Research
出版団体名: Materials Research Society
出版地:Pittsburgh, Pa.
会議 (1件):
  • Symposium (on) Laser and Particle-Beam Chemical Processing for Microelectronics, Boston, Mass., 19871201 - 19871203
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