資料
J-GLOBAL ID：200909088882185143
JST資料番号 (フル)：K19980303B
JST資料番号：K19980303
Proceedings. ASPE Spring Topical Meeting on Silicon Machining, 1998
JST資料番号：
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K19980303
ISBN (1件)：
1-887706-19-4
資料内容種別：会議録, 冊子体, その他
刊行頻度： その他
発行国：アメリカ合衆国(USA)
本文使用言語 (1件)：
英語(EN)
出版団体名：
American Society for Precision Engineering
出版地：Raleigh, N.C.
会議 (1件)：
- ASPE Spring Topical Meeting on Silicon Machining, Carmel, Calif., 19980413 - 19980416
JST所蔵 (0件)
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