資料
J-GLOBAL ID：200909095880059619
JST資料番号 (フル)：K19870351I
JST資料番号：K19870351
Science and Technology of Microfabrication
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K19870351
ISBN (1件)：
0-931837-42-1
シリーズ・タイトル (1件)：
- Materials Research Society Symposia Proceedings 76
資料内容種別：会議録, 冊子体, その他
刊行頻度： その他
発行国：アメリカ合衆国(USA)
本文使用言語 (1件)：
英語(EN)
出版団体名：
Materials Research Society
出版地：Pittsburgh, Pa.
会議 (1件)：
- Symposium on Science and Technology of Microfabrication, Boston, Mass., 19861204 - 19861205
JST所蔵 (0件)：
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