資料
J-GLOBAL ID:200909097525091288
JST資料番号 (フル):K19880221V
JST資料番号:K19880221
Tungsten and Other Refractory Metals for VLSI Applications 2
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K19880221
ISBN (1件):
0-931837-66-9
シリーズ・タイトル (1件):
- Materials Research Society Conference Proceedings VLSI-2
資料内容種別:会議録, 冊子体, その他
刊行頻度: その他
発行国:アメリカ合衆国(USA)
本文使用言語 (1件):
英語(EN)
編集団体名 (1件):
California Univ. Berkeley. Univ. Extension
出版団体名:
Materials Research Society
出版地:Pittsburgh, Pa.
会議 (1件):
- Workshop on Tungsten and Other Refractory Metals for VLSI Applications, 3rd, Palo Alto, Calif., 19861112 - 19861114
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