資料
J-GLOBAL ID：200909099082768703
JST資料番号 (フル)：K19980242L
JST資料番号：K19980242
Advanced Metallization and Interconnect Systems for ULSI Applications in 1997
JST資料番号：
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K19980242
ISBN (1件)：
1-55899-412-2
資料内容種別：会議録, 冊子体, その他
刊行頻度： その他
発行国：アメリカ合衆国(USA)
本文使用言語 (1件)：
英語(EN)
編集団体名 (1件)：
California Univ. Berkeley. Univ. Extension
出版団体名：
TMS Minerals, Metals & Materials Society
出版地：Warrendale, Pa.
会議 (2件)：
- Conference on Advanced Metallization and Interconnect Systems for ULSI Applications, 14th, San Diego, Calif., 19970930 - 19971002
- Conference on Advanced Metallization and Interconnect Systems for ULSI Applications. Parallel Session, Tokyo, 19971021 - 19971022
JST所蔵 (0件)
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