竹内和歌奈

Takeuchi Wakana

研究キーワード (3件)： MOS構造 , 高誘電率ゲート材料 , 次世代ULSIに向けたCMOSの高機能化

競争的資金等の研究課題 (3件)：

MISC (94件)：

特許 (1件)：

講演・口頭発表等 (119件)：

Research and development of GeSn-related thin-film semiconductors for nanoelectronic and optoelectronic applications
(Frontiers in Materials Processing Applications, Research and Technology (FiMPART 2017) 2017)
Development of GeSn and related semiconductor thin films for next generation optoelectronic applications
(2017 Global Conference on Polymer and Composite Materials (PCM 2017) 2017)
Epitaxial growth of n+-Ge1-xSnxlayerswith in situ phosphorus doping using low-temperature metal-organic chemical vapor deposition method
(The 10th International Conference on Silicon Epitaxy and Heterostructures (ICSI-10) 2017)
Electrical Properties of AlON/4H-SiC MOS Capacitor Prepared by Plasma-Assisted Atomic Layer Deposition
(9th International Symposium on Advanced Plasma Science and Its Applications for Nitrides Nanomaterials / 10th International Conference on Plasma-Nano Technology and Science (ISPlasma 2016 / IC-PLANTS 2017) 2017)
Selective Growth of Ge1-xSnx Epitaxial Layer on Patterned Si Substrate using Metal-organic Chemical Vapor Deposition Method
(9th International Symposium on Advanced Plasma Science and Its Applications for Nitrides Nanomaterials / 10th International Conference on Plasma-Nano Technology and Science (ISPlasma 2016 / IC-PLANTS 2017) 2017)

学位 (1件)：

経歴 (5件)：

委員歴 (5件)：

2015/07/01 - 2016/07 ISCSI-VII/ISTDM2016 実行委員
2015/06/01 - 2016/04 ISPlasma2016/IC-PLANTS2016 実行委員
2011/04 - 2012/03 応用物理学会人材育成・教育事業委員会若手・人財育成部門
2010/12/01 - 2011/11/30 2011 International Conference on Solid Devices and Materials Organizing Committee
2010/12/01 - 2011/11/30 2011年国際固体素子・材料コンファレンス実行委員実行委員

所属学会 (1件)：

応用物理学会

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竹内 和歌奈