文献
J-GLOBAL ID:201002000173334357 整理番号:79A0206679
高揚ARE過程によるγ-Al
2
O
3
膜におけるイオン効果
Ion effect on γ-Al
2
O
3
films by enhanced ARE process.
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著者 (2件):
MORI H
MORI H について
名寄せID(JGPN) 201550000025485702 ですべてを検索
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,
YOSHIHARA H
YOSHIHARA H について
名寄せID(JGPN) 201550000098981511 ですべてを検索
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資料名:
Jpn J Appl Phys (Japanese Journal of Applied Physics)
Jpn J Appl Phys について
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巻:
18
号:
4
ページ:
837-838
発行年:
1979年
JST資料番号:
G0520A
CODEN:
JJAPA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)
抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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活性化反応蒸着(ARE)過程を,合成耐火厚膜という視点から調...
シソーラス用語:
シソーラス用語/準シソーラス用語
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真空蒸着
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