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J-GLOBAL ID：201002000965051352   整理番号：77A0309031

プレーナ技術に対するリソグラフィー技法 I 光リソグラフィー,X線リソグラフィー,電子照射リソグラフィー

Metodi litografici per la tecnologia planare. I. Litografia ottica, a raggi X, elettronica a proiezione.

著者 (3件)： ARMIGLIATO A ,  COCITO M ,  MERLI P G
資料名： Elettron Telecomun  (Elettronica)
巻： 26  号： 2  ページ： 67-80  発行年： 1977年 
JST資料番号： C0411A  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： イタリア (ITA)  言語： イタリア語 (IT)

抄録/ポイント： プラーナ技術の超小形回路素子の製造に用いられるプレーナ技術の...

シソーラス用語： 超小形回路技術
準シソーラス用語： リソグラフィー

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タイトルに関連する用語 (6件)： プレーナ技術 ,  リソグラフィー ,  技法 ,  光リソグラフィー ,  X線リソグラフィー ,  電子照射