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J-GLOBAL ID:201002001452634480   整理番号:77A0105200

ブタンプラズマ中でrfターゲットに蒸着された硬い絶縁体炭素質薄膜

Deposition of hard and insulating carbonaceous films on an r.f. target in a butane plasma.
著者 (2件):
資料名:
巻: 38  号:ページ: L17-L19  発行年: 1976年 
JST資料番号: B0899A  ISSN: 0040-6090  CODEN: THSFA  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: スイス (CHE)  言語: 英語 (EN)
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絶縁体基板上に絶縁性の膜をスパッタリングにより作製するため,...
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