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J-GLOBAL ID：201002001452634480   整理番号：77A0105200

ブタンプラズマ中でrfターゲットに蒸着された硬い絶縁体炭素質薄膜

Deposition of hard and insulating carbonaceous films on an r.f. target in a butane plasma.

著者 (2件)： HOLLAND L ,  OJHA S M
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 38  号： 2  ページ： L17-L19  発行年： 1976年 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  CODEN： THSFA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 絶縁体基板上に絶縁性の膜をスパッタリングにより作製するため,...

シソーラス用語： ブタン ,...

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タイトルに関連する用語 (8件)： ブタン ,  プラズマ ,  RF ,  ターゲット ,  蒸着 ,  絶縁体 ,  炭素質 ,  薄膜