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J-GLOBAL ID:201002001534647491   整理番号:79A0102218

薄膜の表面分析 展望 I

Oberflaechenanalyse an Duennen Schichten - Eine UEbersicht. 1.
著者 (1件):
資料名:
巻: 27  号:ページ: 238-245  発行年: 1978年 
JST資料番号: E0348A  ISSN: 0042-2266  CODEN: VAKTA  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 文献レビュー  発行国: ドイツ (DEU)  言語: ドイツ語 (DE)
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表面分析法は薄膜の開発製造に急速に重要度を増加。従って薄膜製...
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