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J-GLOBAL ID：201002001684427449   整理番号：78A0307807

酸化物及びオキシふっ化物誘電体薄膜の陰極スパッタリングによる析出

D<span style=text-decoration:overline>e ́</span>pot par pulv<span style=text-decoration:overline>e ́</span>risation cathodique de couches minces di<span style=text-decoration:overline>e ́</span>lectriques d’oxydes et d’oxyfluorures.
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POMPEI J

POMPEI J について

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CAMPET G

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CLAVERIE J

CLAVERIE J について

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HAGENMULLER P

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資料名：
Bull Soc Fr Ceram  (Bulletin de la Societe Francaise de Ceramique)

Bull Soc Fr Ceram について


号： 117  ページ： 15-18  発行年： 1977年 
JST資料番号： H0346A  CODEN： BFCEA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： フランス (FRA)  言語： フランス語 (FR)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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電気容量素子の小型化を目的として,PbNb<sub>2</s...
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酸化物

酸化物 について

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酸化物

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誘電体薄膜

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陰極スパッタリング

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析出

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