電子ビーム散乱による重合体薄膜におけるエネルギー散逸:実験

HAWRYLUK R J; SMITH H I; SOARES A; HAWRYLUK A M

文献

J-GLOBAL ID：201002003456747711 整理番号：75A0335167

電子ビーム散乱による重合体薄膜におけるエネルギー散逸:実験

Energy dissipation in a thin polymer film by electron beam scattering: Experiment.

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資料名：
巻： 46 号： 6 ページ： 2528-2537 発行年： 1975年
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIA 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

シリコン,銅,および金の基板上のPMMA膜への走査形電子線照...

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