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J-GLOBAL ID：201002003692044594   整理番号：80A0181707

水素を含むプラズマの非晶質水素化Si蒸着におよぼす作用

Action d’un plasma doux d’hydrogene sur des d<span style=text-decoration:overline>e ́</span>pots de silicium amorphe hydrog<span style=text-decoration:overline>e ́</span>n<span style=text-decoration:overline>e ́</span>.
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著者 (2件)：
BRUYE`RE J-C

BRUYE`RE J-C について

(Univ. scientifique et m<span style=text-decoration:overline>e ́</span>dicale de Grenoble, France)

Univ. scientifique et m<span style=text-decoration:overline>e ́</span>dicale de Grenoble, France について

, 
DENEUVILLE A

DENEUVILLE A について

(Univ. scientifique et m<span style=text-decoration:overline>e ́</span>dicale de Grenoble, France)

Univ. scientifique et m<span style=text-decoration:overline>e ́</span>dicale de Grenoble, France について


資料名：
C R Hebd Seances Acad Sci Ser A Ser B  (Comptes Rendus Hebdomadaires des Seances de l'Academie des Sciences. Serie A. Sciences Mathematiques, Serie B. Sciences Physiques)

C R Hebd Seances Acad Sci Ser A Ser B について


巻： 289  号： 15  ページ： B.285-B.288  発行年： 1979年 
JST資料番号： B0303B  ISSN： 0151-0509  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： フランス (FRA)  言語： フランス語 (FR)
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反応性スパッタ法,基板温度190°Cで製作し,赤外吸収を観測...
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けい素化合物

けい素化合物 について

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