文献
J-GLOBAL ID:201002004919517873 整理番号:77A0180124
電圧測定による添加不純物分布の決定
Determination of dopant profiles by voltage measurements.
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著者 (2件):
LEHOVEC K
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CHEN C-H
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資料名:
IEEE Trans Electron Devices (IRE Transactions on Electron Devices)
IEEE Trans Electron Devices について
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巻:
24
号:
3
ページ:
284-286
発行年:
1977年
JST資料番号:
C0222A
ISSN:
0018-9383
CODEN:
IETDA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)
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ピンチオフでのゲート電圧対を測定することによって,均一に添加...
シソーラス用語:
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