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J-GLOBAL ID：201002005431162193   整理番号：75A0298397

ビニルエーテル-マレイン酸無水物共重合体から作った電子感応レジスト

Electron sensitive resists derived from vinylether-maleic anhydride copolymers.

著者 (3件)： COLE H S ,  SKELLY D W ,  WAGNER B C
資料名： I E E E Trans Electron Devices (Inst Electr Electron Eng)  (IRE Transactions on Electron Devices)
巻： 22  号： 7  ページ： 417-420  発行年： 1975年 
JST資料番号： C0222A  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 一連の標記共重合体を作り,それらの電子感応度を測定した。作っ...

シソーラス用語： 回路パターン形成技術 ,...

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タイトルに関連する用語 (5件)： ビニルエーテル ,  マレイン酸無水物 ,  共重合体 ,  電子 ,  レジスト