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J-GLOBAL ID:201002006056891898   整理番号:77A0189647

電子衝撃放射分光(EIES)による合金のたい積過程の速度制御と組成分析

Rate controlling and composition analysis of alloy deposition processes by electron impact emission spectroscopy (EIES).
著者 (3件):
資料名:
巻: 14  号:ページ: 103-107  発行年: 1977年 
JST資料番号: C0789A  ISSN: 0022-5355  CODEN: JVSTA  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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電子衝撃によりセンサー部分で蒸着原子流を励起する。光学フィル...
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