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J-GLOBAL ID：201002006850708089   整理番号：80A0177645

気相法による炭化けい素粉末の生成

Formation of fine silicon carbide powders by a vapor phase method.

著者 (3件)： OKABE Y (Kyushu Univ.) ,  HOJO J (Kyushu Univ.) ,  KATO A (Kyushu Univ.)
資料名： J Less-Common Met  (Journal of the Less-Common Metals)
巻： 68  号： 1  ページ： 29-41  発行年： 1979年 
JST資料番号： D0083A  ISSN： 0022-5088  CODEN： JCOMA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： SiCl₄+CH<sub>4</sub...

シソーラス用語： 炭化けい素 ,...

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タイトルに関連する用語 (3件)： 気相 ,  炭化けい素 ,  粉末