InPの熱酸化

文献

J-GLOBAL ID：201002007098988448 整理番号：80A0196736

Thermal oxidation of InP.

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資料名：
巻： 51 号： 1 ページ： 812-814 発行年： 1980年
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIA 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

乾燥酸素中で酸化したInPの熱配化膜の化学組成と成長速度を調...

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