文献
J-GLOBAL ID：201002007947218880 整理番号：78A0290790
デジタル制御メカニカルステージ
Digitally positioned mechanical stage.
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著者 (2件)：
PASIECZNIK J
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資料名：
J Vac Sci Technol (Journal of Vacuum Science & Technology)
J Vac Sci Technol について
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巻：
15
号：
3
ページ：
909-912
発行年：
1978年
JST資料番号：
C0789A
ISSN：
0022-5355
CODEN：
JVSTA
資料種別：
逐次刊行物 (A)
記事区分：
原著論文
発行国：
アメリカ合衆国 (USA)
言語：
英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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