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J-GLOBAL ID：201002011596145714   整理番号：79A0350098

特集:高品質を支える新しい検査装置 レーザ面板欠陥自動検査装置

著者 (3件)： 岩谷福雄 (日本電子エンジニヤリング) ,  鈴木道夫 (日立中研) ,  高見勝己 (日立中研)
資料名： 電子材料  (Electronic Parts and Materials)
巻： 18  号： 9  ページ： 34-39  発行年： 1979年 
JST資料番号： F0040A  ISSN： 0387-0774  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： シリコンウエハのみならず,セラミック基板,磁性材料などに広く...

シソーラス用語： レーザ応用 ,...

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タイトルに関連する用語 (6件)： 高品質 ,  検査装置 ,  レーザ ,  面板 ,  欠陥 ,  自動検査