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J-GLOBAL ID：201002013368503700   整理番号：75A0295187

IC製造用光学機器

著者 (1件)：
吉田庄一郎

吉田庄一郎 について


資料名：
応用物理  (JSAP International)

応用物理 について


巻： 44  号： 5  ページ： 526-532  発行年： 1975年 
JST資料番号： F0252A  ISSN： 0369-8009  CODEN： OYBSA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)
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IC製造プロセスに用いられている光学機器のうち,主としてフォ...
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引用文献 (18件)：
  • 1) 脇本善司,川上忠志:応用物理, 40 (1971) 1014.
  • 2) 一ノ瀬和三郎:精密機械, 41 (1975) 46,
  • 3) M. J. Cowan, D. R. Herriott, A. M. Johnson and A. Zacharias: The Bell System Tech. J., Nov. (1970) 2033.
  • 4) Thomson-CSF のカタログより.
  • 5) 秋山裕爾,他: Nikon Tech. J., No. 1 (1973) 39.
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