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J-GLOBAL ID:201002013402067591 整理番号:79A0239626
窒化けい素膜の構造
О структуре пленок нитрида кремния.
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著者 (1件):
ЭДЕЛЬМАН Ф Л
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資料名:
Izv Akad Nauk SSSR Neorg Mater (Izvestiya Akademii Nauk SSSR. Neorganicheskie Materialy)
Izv Akad Nauk SSSR Neorg Mater について
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巻:
15
号:
4
ページ:
647-653
発行年:
1979年
JST資料番号:
R0254A
CODEN:
IVNMA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
旧ソビエト連邦 (SUN)
言語:
ロシア語 (RU)
抄録/ポイント:
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シランのアンモノリシスで得た厚み約1000Åの窒化けい素膜な...
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