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J-GLOBAL ID:201002014300099010   整理番号:78A0039820

銅積層成型プラスチック用銅はくの表面形態(トポグラフィー)に関する相対値作業管理

Verfahren zur betrieblichen UEberwachung eines Relativwertes fuer die Oberflaechengestalt (Topografie) der Kupferfolie fuer kupferkaschierte Schichtpressstoffe.
著者 (1件):
資料名:
巻: 31  号: 12  ページ: 563-567  発行年: 1977年 
JST資料番号: D0055A  ISSN: 0026-0797  CODEN: MOFEA  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: ドイツ (DEU)  言語: ドイツ語 (DE)
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高集積密度をめざし,プリント回路幅<100μm,銅はく5〜7...
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