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J-GLOBAL ID:201002014437786813 整理番号:75A0099097
TiNのCVDにおけるTiCl
4
の分圧
Partial pressure of TiCl
4
in CVD of TiN.
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著者 (1件):
PETERSON J R
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名寄せID(JGPN) 201550000050642634 ですべてを検索
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資料名:
J Vac Sci Technol (Journal of Vacuum Science & Technology)
J Vac Sci Technol について
JST資料番号 C0789A ですべてを検索
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巻:
11
号:
4
ページ:
715-718
発行年:
1974年
JST資料番号:
C0789A
ISSN:
0022-5355
CODEN:
JVSTA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)
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