酸化けい素の相組成の電子分光法による研究

КОВАЛЬ И Ф; КРЫНЬКО Ю Н; МЕЛЬНИК П В; НАХОДКИН Н Г; ГОЙСА С Н

文献

J-GLOBAL ID：201002014562198893 整理番号：78A0063921

酸化けい素の相組成の電子分光法による研究

Исследование фазового состава окислов кремния методами электронной спектроскопии.

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資料名：
巻： 19 号： 9 ページ： 1681-1683 発行年： 1977年
JST資料番号： R0029B ISSN： 0015-3249 CODEN： FTVTA 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：旧ソビエト連邦 (SUN) 言語：ロシア語 (RU)

イオン化損失分光法とオージェ分光法とを用いてSi(100)面...

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