化学的に蒸気析出したSi3N4の熱拡散,比熱,熱伝導率

HIRAI T; HAYASHI S; NIIHARA K

文献

J-GLOBAL ID：201002018821101300 整理番号：79A0119873

化学的に蒸気析出したSi₃N₄の熱拡散,比熱,熱伝導率

Thermal diffusivity, specific heat and thermal conductivity of chemically vapor-deposited Si₃N₄.

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巻： 57 号： 12 ページ： 1126-1130 発行年： 1978年
JST資料番号： A0366A ISSN： 0002-7820 CODEN： BACSA 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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