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J-GLOBAL ID:201002019291652595 整理番号:77A0345404
肉眼でも確認ができる薄膜厚み検出器
Visually aligned monochromatic lamina detector.
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著者 (2件):
GASTON C A
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KIRK J P
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資料名:
IBM Tech Disclosure Bull (IBM Technical Disclosure Bulletin)
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巻:
20
号:
3
ページ:
1022-1023
発行年:
1977年
JST資料番号:
E0292B
ISSN:
0018-8689
CODEN:
IBMTA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
解説
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)
抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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薄膜の厚みの監視装置に,正確にビームがターゲットに当っている...
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