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J-GLOBAL ID：201002020929886724   整理番号：79A0079438

静電容量-電圧プロフィル技術

Capacitance-voltage profiling techniques.
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著者 (1件)：
SMITH B J

SMITH B J について


資料名：
U K At Energy Auth  (United Kingdom Atomic Energy Authority)

U K At Energy Auth について


号： AERE-R-8862  ページ： 34P  発行年： 1977年 
JST資料番号： P0908A  資料種別： 技術報告 (T)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)
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抄録/ポイント
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本報告は半導体中のドーパントの分布を測定するために英国ハーウ...
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半導体

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静電容量

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電圧プロフィル

電圧プロフィル について


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