チタン,タンタル,タングステン上へ無定形ほう素析出の最適化へ相平衡と熱力学データの応用

文献

J-GLOBAL ID：201002021456952534 整理番号：78A0127192

The application of phase equilibria and thermodynamic data to the optimization of amorphous boron deposition on titanium, tantalum and tungsten.

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資料名：
巻： 6th ページ： 285-303 発行年： 1977年
JST資料番号： E0761A 資料種別：会議録 (C)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

BCl₃-H₂混...

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