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J-GLOBAL ID：201002022462021930   整理番号：75A0044326

基板上の薄膜に対する定量的電子マイクロプローブ解析

Quantitative electron microprobe analysis of thin films on substrates.
著者 (2件)：
KYSER D F

KYSER D F について

, 
MURATA K

MURATA K について


資料名：
I B M J Res Dev (Int Bus Mach Corp)  (IBM Journal of Research and Development)

I B M J Res Dev (Int Bus Mach Corp) について


巻： 18  号： 4  ページ： 352-363  発行年： 1974年 
JST資料番号： D0061B  ISSN： 0018-8646  CODEN： IBMJA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
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厚い基板上の薄膜にkV級の電子ビームを照射したときの散乱とエ...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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薄膜

薄膜 について

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定量

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電子マイクロプローブ

電子マイクロプローブ について

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解析

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