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J-GLOBAL ID：201002022716192101 整理番号：80A0036619
真空蒸着法によるIn
2
O
3
透明導電膜
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著者 (2件)：
勝部能ゆき
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資料名：
応用物理 (JSAP International)
応用物理 について
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巻：
49
号：
1
ページ：
2-16
発行年：
1980年
JST資料番号：
F0252A
ISSN：
0369-8009
CODEN：
OYBSA
資料種別：
逐次刊行物 (A)
記事区分：
文献レビュー
発行国：
日本 (JPN)
言語：
日本語 (JA)
抄録/ポイント：
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真空蒸着
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引用文献 (56件)：
1) E. J. Gillham: Philos. Mag. 46 (1955) 1051.
2) A. E. Ennos: Br. J. Appl. Phys. 8 (1957) 113.
3) L. Holland and G. Siddal: Vacuum 3 (1953) 375.
4) 金井英三:物性 2 (1961) 127.
5) 勝部能之,勝部倭子:真空 9 (1966) 443.
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