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J-GLOBAL ID:201002023448621769   整理番号:76A0294707

表面測定における誤差分離法の理論面

Some theoretical aspects of error separation techniques in surface metrology.
著者 (1件):
資料名:
巻:号:ページ: 531-536  発行年: 1976年 
JST資料番号: C0354B  ISSN: 0022-3735  CODEN: JPSIAE  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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複雑なあるいは大きな表面の幾何学性質の精密測定に対する要求に...
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