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J-GLOBAL ID：201002023835731629 整理番号：78A0129760
スパッター時の負イオン発生の仕事関数依存性
Work-function dependence of negative-ion production during sputtering.
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著者 (1件)：
YU M L
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名寄せID(JGPN) 201550000157949635 ですべてを検索
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資料名：
Phys Rev Lett (Physical Review Letters)
Phys Rev Lett について
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巻：
40
号：
9
ページ：
574-577
発行年：
1978年
JST資料番号：
H0070A
ISSN：
0031-9007
CODEN：
PRLTA
資料種別：
逐次刊行物 (A)
記事区分：
短報
発行国：
アメリカ合衆国 (USA)
言語：
英語 (EN)
抄録/ポイント：
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