文献
J-GLOBAL ID：201002024681014801 整理番号：77A0274970
多孔質シリコン膜の生成とその特性
Formation and properties of porous silicon film.
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資料名：
J Electrochem Soc (Journal of the Electrochemical Society)
J Electrochem Soc について
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巻：
124
号：
2
ページ：
285-295
発行年：
1977年
JST資料番号：
C0285A
ISSN：
0013-4651
CODEN：
JESOA
資料種別：
逐次刊行物 (A)
記事区分：
原著論文
発行国：
アメリカ合衆国 (USA)
言語：
英語 (EN)
抄録/ポイント：
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