SF<sub>6</sub>とけい素表面との赤外レーザ誘起反応

文献

J-GLOBAL ID：201002027039407564 整理番号：80A0306278

SF₆とけい素表面との赤外レーザ誘起反応

Infrared laser induced reaction of SF₆ with silicon surfaces.

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著者 (1件)：
資料名：
巻： 72 号： 11 ページ： 6303-6304 発行年： 1980年
JST資料番号： C0275A ISSN： 0021-9606 CODEN： JCPSA 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

ミクロ天びん上にSi膜を置き,SF₆存...

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