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J-GLOBAL ID：201002027040631095   整理番号：77A0189744

Al-Cu合金蒸着の再現性のある制御のための連続希釈法の使用

Use of method of successive dilution for reproducible control of Al-Cu alloy evaporation.

著者 (1件)： HECHT L C
資料名： J Vac Sci Technol  (Journal of Vacuum Science & Technology)
巻： 14  号： 1  ページ： 648-650  発行年： 1977年 
JST資料番号： C0789A  ISSN： 0022-5355  CODEN： JVSTA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高周波加熱したBN製の炉からAl-Cu合金を蒸着し,蒸着膜中...

シソーラス用語： 真空蒸着法 ,...

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タイトルに関連する用語 (5件)： Al ,  Cu合金 ,  蒸着 ,  再現性 ,  希釈法