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J-GLOBAL ID：201002028084816730   整理番号：80A0199149

無電解ニッケルめっきによる微細パターン加工

著者 (2件)： 本間英夫 (関東学院大工) ,  水島信や (防衛大)
資料名： 金属表面技術  (Journal of the Metal Finishing Society of Japan)
巻： 31  号： 2  ページ： 91-95  発行年： 1980年 
JST資料番号： G0441A  ISSN： 0026-0614  CODEN： KZHGA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 微細パターニングに最適な無電解ニッケルめっき用エッチング液の...

シソーラス用語： 無電解めっき ,...

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引用文献 (7件)：

• 1) 菊池, 井上; 印写工学III, 画像形成論, 共立出版 (1970)
• 2) 伝田精一; 集積回路技術, 工業調査会 (1967)
• 3) 角田隆弘; 感光性樹脂, 印刷学会出版部 (1972)
• 4) N. Feldstein; Electroless Plating in the Electronics Industry, Plating 2. 164 (1974)
• 5) 本間, 保坂; 日本化学会誌11, 1614 (1977)

タイトルに関連する用語 (2件)： 無電解ニッケルめっき ,  微細パターン