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J-GLOBAL ID：201002030008279712   整理番号：77A0081497

回転補償板・検光子と固体検光子からなるエリプソメータ: 解析と他の自動エリプソメータとの比較

Rotating-compensator/analyzer fixed-analyzer ellipsometer: Analysis and comparison to other automatic ellipsometers.
著者 (2件)：
ASPNES D E

ASPNES D E について

, 
HAUGE P S

HAUGE P S について


資料名：
J Opt Soc Am  (Journal of the Optical Society of America)

J Opt Soc Am について


巻： 66  号： 9  ページ： 949-954  発行年： 1976年 
JST資料番号： C0327A  ISSN： 0030-3941  CODEN： JOSAA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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光電式の自動エリプソメータとして標記の組合せからなるものを提...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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偏光解析法

偏光解析法 について


準シソーラス用語：
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エリプソメータ

エリプソメータ について


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タイトルに関連する用語 (5件)：
タイトルに関連する用語
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補償板

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検光子

検光子 について

, 
固体

固体 について

, 
エリプソメータ

エリプソメータ について

, 
解析

解析 について


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