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J-GLOBAL ID：201002031084875290   整理番号：77A0209912

SOSウエハの製造における問題とその解決法

Problems and solutions in the preparation of SOS wafers.
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著者 (1件)：
MAURITS J E A

MAURITS J E A について


資料名：
Solid State Technol  (Semiconductor Products)

Solid State Technol について


巻： 20  号： 4  ページ： 81-86  発行年： 1977年 
JST資料番号： E0226A  ISSN： 0038-111X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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サファイア基板の成長と製造はSiウエハに用いるプロセスとよく...
シソーラス用語：
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エピタクシー

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