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J-GLOBAL ID：201002032111707881   整理番号：78A0056535

X線リソグラフィーのためのオージェ・レジストレーション(刷り合せ)技術

Auger registration technique for X-ray lithography.
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著者 (2件)：
KIRKPATRICK S

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RUBLOFF G W

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資料名：
IBM Tech Disclosure Bull  (IBM Technical Disclosure Bulletin)

IBM Tech Disclosure Bull について


巻： 20  号： 5  ページ： 2008-2009  発行年： 1977年 
JST資料番号： E0292B  ISSN： 0018-8689  CODEN： IBMTA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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サブミクロンのX線リソグラフィーにおいて基板にマスクを合せる...
シソーラス用語：
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超小形回路

超小形回路 について

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X線リソグラフィー

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